解决方案案例 [案例-017]扇出晶片和Si晶片的清洁烤箱系统

  • 聚合物固化
  • SO2-12-F.

使一个清洁的烤箱系统可用于扇出晶圆和Si晶片的处理

支持过程 聚酰亚胺固化
模型介绍 SO2-12-F.

问题

由于扇出晶片在Fowlp的制造过程中翘曲,因此扇出晶片的转移机器人的晶片船和手指不同于Si晶片的晶片。因此,用于扇出晶圆的转移系统和烤箱系统不能用于Si晶片,反之亦然。

解决方案

  • 使扇出晶圆船和Si晶片船能够放置在同一腔室中
  • 通过根据晶片处理的晶圆交换手指使两艘船只用一个机器人传输
  • 添加传感器以检测转移哪种船

结果

  • 扇出晶圆和Si晶片都可以处理一个清洁烤箱系统。