解决方案的情况下 [case-016]低成本大口径竖炉

  • 固化(FPD)
  • vfs - 4000

通过优化要求的功能,降低了大口径竖炉的成本

支持流程 聚酰亚胺固化(F-OLED)
模型介绍 vfs - 4000

问题

  • VFS-4000是一种半导体规格的大口径立式炉,具有高质量的热处理能力。
  • 但是,当用于烘烤柔性OLED基片时,设备价格将高于市场价值。

解决方案

  • 采用预制结构的箱体,采用耐热玻璃
  • 对玻璃基板储物架、升降机构、排气压力控制方法等整个设备进行深入的价值分析和结构改变

结果

  • 以合理的设备价格进行高质量的热处理已经成为可能。