解决方案的情况下 [case-015]大批量清洁烤箱系统

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将批次数量增加一倍以提高生产率

支持流程 其他(后端应用程序)
模型介绍 SO2-12-F

问题

热处理室可存储的批次数为25片/室。因此,为了增加需要加工的晶圆数量,需要增加腔室,增加安装面积和成本。

解决方案

  • 在不增加占地面积的情况下,我们增加了热处理室的容量,并将可存储的批次数量增加了一倍,达到50个晶圆/腔。

结果

  • 一次可加工的晶圆数量增加了一倍,提高了生产率。
  • 降低了初始成本和运行成本。