解决方案案例 [case-011]CNT(碳纳米管)生长系统

  • 氮化物,氮氧化物
  • VF-1000(高)

大直径晶圆的CNT(Carbon nanotube)生长系统

支持过程 碳纳米管生长
介绍的型号 VF-1000LP型

问题

客户正在小直径管式炉中进行测试,但为了增加晶圆尺寸,他们正在寻找一家能够生产能够通过演示进行加工的设备的制造商。

解决方案

  • 客户使用我们的设备进行演示,甚至当晶圆直径增加时,碳纳米管的生长也是可以预期的。
  • 我们建议VF-1000LP采用气体引入规格,如碳纳米管生长所需的乙烯和乙炔,客户根据我们的建议购买产品。

结果

在碳纳米管生长过程中,可以增大晶圆直径。