解决方案的情况下 [case-005]经缩退火

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  • SO2-12-F

利用专业知识和分析技术,实现最佳的经还原退火工艺

支持流程 其他
模型介绍 SO2-12-F

问题

在FO-WLP、FO-PLP等中,衬底翘曲是由于应力引起的。虽然退火工艺是必要的,以减少翘曲,最佳的基片保持设备是必需的。

解决方案

  • 我们进行了分析,并提交了一份提案,模拟了传递过程中的干扰、热容量的影响,以及能够减轻翘曲的最佳基片保持设备。

结果

  • 即使对于出现严重翘曲的晶片,也能实现稳定的加工和转移。