解决方案的情况下 [case-004]提高生产率(全自动化转移)

  • 接触退火
  • rla - 3000 v

全自动化转移,提高生产效率

支持流程 接触退火
模型介绍 rla - 3000 v

问题

在SiC接触退火(灯退火)中,敏感器对加工的SiC晶圆是必不可少的,但没有自动将晶圆转移到敏感器的装置。

解决方案

  • 我们建议客户对SiC晶圆收纳采用自动转移机构。客户在我们的推荐下购买了这台量产设备。

结果

  • 实现了全自动化,提高了生产效率。