解决方案的情况下 [case-003]降低初始成本

  • 激活
  • vf - 3000 h

提供碳化硅活化退火设备,性价比高

支持流程 激活
模型介绍 vf - 3000 h

问题

由于SiC活化过程需要极高的温度(1800°C),因此设备成本很高。

解决方案

  • 我们试图通过开发没有真空支持的设备来降低初始成本,这是成本高的主要原因。
  • 我们使用演示单元进行了演示,并确认了流程的可行性。

结果

  • 通过演示期间的预先检查,客户能够验证过程没有任何问题。
  • 实现了50片/批规格,并实现了自动转移,比常规设备成本降低了30% - 50%。