解决方案的情况下 [case-002]建立VCSEL过程

  • 热oxideation
  • vf - 3000 (B)

采用特殊的vcsl工艺专用炉可显著提高成品率。

支持流程 热oxideation
模型介绍 vf - 3000 (B)

问题

我们解决了VCSEL(表面发光激光器)中AIAs层低温湿氧化过程再现性的挑战。

解决方案

  • 在此过程中,高维温度再现性被证明是可行的,因此采用了我们专有的LGO加热器。
  • 我们利用了一个汽化器和专有的炉结构,以改善潮湿气氛的可控性。
  • 该过程在演示过程中得到了验证。
  • 我们建议客户考虑一台低成本的VF-3000自动转账,客户在我们的建议下购买了它。

结果

  • 孔径变化减少一半,产量大大提高。大规模生产的潜力被发现了。