VF-3000H立式栅绝缘成膜炉

立式炉可进行高温处理,是制造动力装置的理想设备。支持氧氮化和8英寸大小的晶片。具有自动晶圆转移机制,可用于从研发到大规模生产的应用。

特征

  • 支持从小批量到50片晶圆的批量生产,以及从研发到大规模生产线的应用。
  • 支持范围广泛的晶圆尺寸高达8英寸。
  • 启用晶圆附近的温度监控。
  • 炉子内部采用我们专有的无金属结构。
  • 支持不同氧化/氧氮化工艺的串行处理(湿/干氧化,H2.退火,NH3.氮化,NO/N2.O氧氮化)。
  • 腔室清洁机构(可选)

概述

VF-3000H是一种立式炉,可加工从小批量到50片晶圆,以及从3英寸到8英寸的各种晶圆尺寸。精心挑选的硬件和控制系统功能使应用范围从研发到大规模生产线上使用。炉子内部采用我们专有的无金属结构。VF-3000H可进行高温处理,是功率器件制造的理想选择。它也可以进行氧氮化。

规格

工作温度范围 700至1400°C
支持的晶圆尺寸 3至8英寸
最大批量 50片晶圆
使用的气体 N2.、银币、银币2.,否,N2.O、 新罕布什尔州3.
选项 N2.负载锁,腔室清洁机构
应用 碳化硅功率器件,氧氮化,氮化,氧化,研发,量产

相关解决方案案例

请按此查询。