VF-3000H活化退火炉

立式炉可进行超高温处理,是制造功率器件的理想设备。支持3至6英寸晶圆,并具有自动晶圆传送机制。可用于从研发到大规模生产的各种应用。

特征

  • 支持从小批量到50片晶圆的批量生产,以及从研发到大规模生产线的应用。
  • 支持从3英寸到6英寸的各种晶圆尺寸。
  • 炉子内部采用我们专有的无金属结构。
  • 启用晶圆附近的温度监控。
  • 安N2.负载锁作为标准功能提供。
  • 高通量磁带到磁带传输
  • H2.可选择带沟槽圆角的气氛退火。

概述

VF-3000H是一种立式炉,可加工从小批量到50片晶圆,以及从3英寸到6英寸的各种晶圆尺寸。精心挑选的硬件和控制系统功能使应用范围从研发到大规模生产线上使用。炉子内部采用我们专有的无金属结构。VF-3000H可加工测试器件(无晶圆转移),支持超高温活化退火工艺。

规格

工作温度范围 700至1850°C(H2退火为700至1800°C)
支持的晶圆尺寸 3至6英寸
最大批量 50片晶圆
使用的气体 N2.、银币、银币2.(可选)
应用 SiC电源器件、研发、批量生产、活化退火

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