206A型光伏生产卧式炉

这种卧式炉适用于太阳能电池和光伏电池的生产。100到156个方形晶圆可以批量加工,每批200到400个晶圆。

特征

  • 国内市场份额第一
  • 处理100-200毫米的方形晶片
  • 批量:可加工200至400片晶圆(取决于平区长度和晶圆间距)
  • 快速加热和冷却,使用KTS独家LGO加热器降低功率

概述

这种太阳能电池和光伏(PV)电池制造水平炉处理125平方毫米和156平方毫米光伏电池和6英寸和8英寸晶圆。太阳能电池和光伏(PV)电池生产的最佳炉,它可以用POCl3、BBr3等材料进行磷扩散、硼扩散、热原氧化、湿氧化、干氧化、退火等晶系热处理。

规格

外形尺寸(mm) W850 x L6700 x H2500 mm(三级炉)
加热器 LGO加热器
平区长度 1000毫米
临时雇员控制 3至5区
传输设备 装船机
制成品 3至8英寸硅片
125至156毫米方形晶片

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