200系列卧式炉,用于批量生产和实验

从小型实验和研究(R&D)到大规模生产,这些炉可以设计满足用户的需求。
这些水平炉可以用于太阳能电池和光伏发电系统(PV)的生产以及硅片。

特性

  • 从实验使用到批量生产,各种设备配置可供选择
  • 批量:可加工25 ~ 150片
  • 采用1至4烟囱炉配置,充分利用有限的可用面积
  • 2- 8英寸晶圆片尺寸可供选择
  • 提供低、中高温LGO加热器,高温HGC加热器,具有良好的温度性能
  • 根据客户的需求,根据使用情况、空间和预算,提出各种设备配置方案
  • 控制系统简单,设备齐全

概述

这些卧式炉可以满足用户从3、4、6和8英寸晶圆片和125毫米和156毫米方形电池的实验和研究(R&D)到批量生产的要求。除硅片外,该炉还可用POCl3、BBr3等材料进行磷扩散、硼扩散、热氧化、湿氧化、干氧化、退火等生产太阳能电池和光伏发电系统。

规范

加热器 LGO加热器,HGC加热器
平区长度 250毫米到800毫米
Temp.控制 3区
传输设备 吊艇机,吊艇机,悬臂装载机,软装载机
生产条 3~8英寸硅片
125至156毫米的方形晶圆

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