CLH系列高温洁净炉

高温烘烤在一个干净的环境是由耐热高性能过滤器和独特的冷却装置。热空气循环系统用于高精度地进行晶圆和玻璃基板烘烤/老化、聚酰亚胺固化和退火。

特征

  • 一个耐热的高性能过滤器和我们独特的冷却装置安装,使高温烘烤。
  • 当温度稳定时,室内内部可以保持100级清洁度。
  • 有2种热风鼓风机类型:前侧鼓风机,水平循环(V)和侧面鼓风机(III型)。两者都达到高热效率和良好的温度均匀性。
  • 这种类型的烤箱是半导体晶圆和玻璃基板烘烤、老化和其他需要高精度的热处理的最佳选择。
  • 可将惰性气体引入室中,以将烘箱用作惰性气体烘箱。

概述

有2种类型的热风机,侧吹风机类型(III型)和前侧吹风机类型(V型)。清洁烘箱配有耐热高性能过滤器和我们独特的冷却装置,可在最高530°C(或V型最高500°C)下进行高温处理。由于热风循环系统实现了良好的温度均匀性和100级空气清洁度(当温度稳定时),清洁烘箱是半导体晶圆和玻璃基板烘烤、老化和其他需要高温和高精度加工的目的的最佳选择。也可以将氮气引入室中,以在20 ppm或更低的残余O2浓度下使用烘箱。

高温烘烤是由耐热高性能过滤器和我们独特的冷却装置。

应用程序 半导体晶圆和玻璃基板的烘烤和固化
选项 氧浓度计、信号塔、冷阱、急停、漏水探测器

规格

外形尺寸 CLH-21CD(高)W1285×D1605×H2020毫米
CLH-35CD(高)W1285×D1775×H2080毫米
内部尺寸 CLH-21CD(高)W670×D500×H700毫米
CLH-35CD(高)W670×D670×H790毫米
加热方法 热风循环
加热器 铠装加热器
工作温度 100至450°C(标准型)
100至530°C(H型)
晶圆尺寸 φ100至300mm
其他(矩形基板等)
批量大小 25到200个晶圆(1到8个磁带)
标准附件 搁板(2块)
载重量15kg/板
期权 氧气分析仪

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