半导体
设备

我们生产先进的热处理系统,用于生产功率半导体、硅和化合物半导体、太阳能电池、有机EL (OLED)、聚酰亚胺、MEMS和VCSEL。我们的产品系列包括1850°C低温热处理。

立式炉

我们的旗舰产品。广泛的阵容范围从实验应用到批量生产,具有优异的温度分布和大气控制。

应用:半导体,SiC电源半导体,MEMS,VCSEL,PV(光伏),FPD

水平炉子

能够垂直堆叠高达4个水平加工管。一种可以有效地利用安装区域的通用系统。

应用:半导体,PV(光伏)

灯退火系统

单个晶片系统,可实现优异的面内温度均匀性。可以自动或手动手指选择。

应用:半导体,SIC电源半导体

清洁烤箱系统

用于聚酰亚胺后处理(后端过程)和抗蚀剂固化的最佳对流加热系统。

应用:半导体,FPD

大孔立式炉

用于半导体的大孔立式炉。FPD应用的超级清洁处理是可能的。

应用:PV(Photovoltaic),FPD

SIC功率半导体设备188BET体育博彩

一种专门设计用于SiC功率半导体热处理的系统。

应用:半导体,SIC电源半导体

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