LGO(轻型弯管)加热器

LGO加热器在低温热处理中实现高精度。
半导体扩散炉使用的是轻钢线单元加热器。

Moldatherm LGO加热器是采用陶瓷纤维隔热材料的轻质、高速升温和降温型单元加热器,已开发用于执行高精度低温热处理,特别是在半导体扩散炉中。由于加热器导线比Moldatherm加热器的导线更细,因此存储的热量更少,因此可以实现更高的升温和降温速度。目标温度在较短时间内稳定,均热性能高,低温区热处理精度高。

LGO加热器

加热器采用轻量导线作为发热元件,通过真空成型将陶瓷纤维保温材料和发热元件集成为一个整体结构。因为只有少量的热量被储存,他们在高速下加热和冷却,并且在温度跟随上是优越的。它们在浸泡方面也有优势,可以在低温到中高温下进行高度精确的温度处理。

特色

  • 采用我们独特的真空成型方法,将陶瓷纤维和波纹加热元件整合成一个固体结构
  • 快速升温降温特性
  • 优异的低温稳定性
  • 温度范围宽
  • 电阻加热重量轻
应用 立式扩散炉,立式氧化炉

SLGO加热器

这种加热器比LGO加热器节省更多的能源。

特色

  • LGO加热器和兼容
应用 卧式氧化炉,卧式扩散炉,
扩散竖炉,氧化竖炉,
光伏生产卧式炉

规格

加热元件尺寸 2.0~3.2毫米
加热器内径尺寸 150~550毫米
平区长度 150~1200毫米
冷却方式 自然冷却
临时雇员。范围 最高1150°C(立式炉)
最高1100°C(卧式炉)
加热和冷却特性 加热:空载时>30°C/min
冷却:空载时<10°C/min
低温。稳定性 工艺温度为200℃±1℃

*数值因加热器而异。

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