HGC(大规格线圈)加热器

用于半导体热处理的高性价比、长寿命、大规格线圈(HGC)单元加热器

这些HGC加热器可在最高工作温度高达1250°C的条件下使用,是最佳的,因为单元加热器可反复对半导体扩散炉进行相对高温的热处理。采用大规格盘管的热源非常耐用,使用寿命长。

HGC加热器

厚规格线圈和专利垫片的组合可抑制线圈变形。它具有优异的高温耐久性,使用寿命长。加热器是重复进行高温热处理的扩散炉的最佳选择。

特征

  • 设置大量联锁线圈垫片以支撑线圈加热元件。
  • 绝缘体的弹性防止了加热元件的变形。
  • 绝缘体表面涂有氧化锆以避免颗粒生成。
  • 优异的加热和冷却特性
  • 优异的高温稳定性
应用 扩散炉,
氧化炉,
卧式炉,
立式炉处理机

规格

加热元件尺寸 7.3~9.3毫米
加热器内径尺寸 150~400mm
平区长度 150~1200毫米
冷却方式 自然冷却或水冷
临时雇员。范围 最高1250°C(立式炉)(阿兹特克)
最高1250°C(卧式炉)(阿兹特克)
最高温度。 1250°C(阿兹特克)
1200°C(螺旋-II)
加热和冷却特性 加热:空载时>20°C/min
冷却:空载时<5°C/min
高温。稳定性 工艺温度为1200℃±0.5℃
*数值因加热器而异。

请按此查询。