高洋热电系统垂直炉

立式炉用于半导体器件制造过程中的晶圆加工,包括薄膜形成、退火和树脂薄膜硬化。这些批处理炉的特点是一个垂直排列的石英管,加热放置在管周围的物体进行处理。晶片被装载到称为船的石英存储架上,船从工艺管的底部装载/卸载。由于最小的颗粒生成,这些炉提供了良好的温度分布和气氛控制。此外,自动晶圆和船型转移使进一步提高生产率成为可能。
传统的卧式炉容易在批次内和晶圆表面产生不均匀的膜厚以及颗粒和天然氧化膜,而且由于晶圆直径的增加,设备本身需要更多的面积。然而,立式炉并不受这些问题的限制,这也是其主流普及的原因之一。

1970年,Koyo Thermo Systems推出了日本Tempress品牌的卧式热处理系统,进入了半导体制造设备市场。
自那以来,该公司提供了广泛的热处理技术,在日本和世界各地的半导体行业的增长和发展中发挥了作用。
我们专注于我们所擅长的小众市场,并努力开发那些市场需要的新技术和设备。
Koyo Thermo Systems提供各种设备的能力——从用于研究和开发的小批量生产设备和最先进的设备,到全尺寸生产设备——可以用来提供满足客户要求的满意结果。

竖炉系列

产品
VF-5900 300mm大批量

vf - 5900300毫米大的批处理

vf - 5700300毫米小批

vf - 53008英寸大的批处理

vf - 51008英寸宽量程批

vf - 30008英寸低成本的小批

vf - 1000小型生产和研发

vfs - 4000大孔竖炉

外尺寸 W1250 × D3200 × H3450 mm W1250 × D2000 × H2850 mm W900 × D2300 × H3300 mm W1000 × D1950 × H3300 mm W1200 × D1450 × H2610 mm W1500 × D1000 × H2130 mm 不同的规格
平区长度 1040毫米 500毫米 960毫米 360至960 mm 360毫米 250毫米 不同的规格
晶片大小 300毫米 300毫米 6至8英寸 4至8英寸 4至8英寸 到8英寸 不同的规格
批量大小 100年晶片 50片 150年晶片 马克斯。150晶片 最多75片(8英寸50片) 25片 20到25个晶圆
数量的股票 16 FOUP - 20卡式录音带 4到8卡纸 4到8卡纸 - 不同的规格
机器人手指 5片晶圆+单片晶圆 5片晶圆+单片晶圆 5片晶圆+单片晶圆 5片晶圆+单片晶圆 单一晶片 - 单一晶片
Apprications 半导体,SiC功率半导体,MEMS, VCSEL,光伏 火焰光度

相关解决方案案例

立式炉优化设计

灵活的设备布局

可以将附在炉上的煤气箱等移动到后面或地板下面,而不是仅仅移动到前面或后面。我们可以绕过设备区域的限制,提高设备的可维护性。

壁炉正面煤气箱一楼

竖炉的例子

  • 支持气柜布局的改变
  • 支持在大气压下使用液体源进行处理
  • 支持硒化(Se) /硫化(S)处理
  • 大口径炉(G4或更大尺寸)真空支架
  • 碳纳米管生长设备
  • 支持薄片(80μm或以上)
  • 扇出wafer-enabled设备
  • 基材支持大,FPD聚酰亚胺固化面板
  • 支持湿式真空加工
  • 支持干真空(氧气分压控制)处理
  • 支持使用ClF进行现场清洗3.
  • 支持石英盒的批量运输
    【摘要】带晶片的石英盒被原样转移、堆叠,并在这种状态下进行热处理。
  • 平面多晶硅支架(无温度倾斜)

*支持不同的模型。

示范和测试区域

热处理设备综合制造商,解决不同领域的热处理问题,超越领域和区域的界限

从研发设备到生产设施,在主要业务领域集结技术人员,促进新产品和技术开发,并安装实验和评估的示范设备,Koyo Thermo Systems不仅在开发自己的工艺,而且还提供可用于客户的预测试和性能评估的系统。

在实验实验室内,必须保证空气洁净度达到10级及以上。

常见问题解答

  • 我在哪里可以买到产品?
    一个

    在与客户确定规格后,我们为他们定制订单。我们不出售产品批发或邮购。欲了解更多信息,请联系我们。

    请按此查询。 公司办公室
  • 请告诉我产品的价格。
    一个

    设备规格和价格因产品而异。请与我们联系。

    请按此查询。 1188金宝搏亚洲
  • 你们经营哪些热处理设备?
    一个

    我们经营的热处理设备可以在硅晶片、金属、橡胶、玻璃、塑料、精细陶瓷等材料的成膜过程中加热或添加反应气体,以改变这些材料的特性。

    1188金宝搏亚洲
  • 你能生产产品页面上没有列出的产品吗?
    一个

    请把你的要求寄给我们。我们将提出最优的设备规格。欲了解更多信息,请联系我们。

    请按此查询。 技术/解决方案
  • 我可以提前核实这个过程吗?
    一个

    我们不出借任何产品,但我们可以进行演示,以验证产品的性能。如果您有任何演示要求,请与我们联系。

    请按此查询。 演示设备
  • 我担心我是否能操作和维护新购买的设备。
    一个

    我们对购买的设备进行发货前的培训,让客户和员工放心使用设备。如果您在发货后有任何疑问,我们也会通过电话或电子邮件提供支持。请与我们的销售代表联系。

    支持

关于高洋热电系统

构成工业基础的成形和制造材料的金属部件、陶瓷等;支持最新技术的半导体和电子元件;丰富人们生活的显示屏和控制全球环境污染的下一代电池;不夸张地说,高洋热电系统公司制造的热处理设备涉及到我们生活中的所有行业。“科技树”融合了五片跨越半个世纪的“科技叶”,创造出独特的科技,继续为世界的每一个领域做出贡献。

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